
반도체 산업에서의 탄화붕소(B₄C) 응용 분야
반도체 산업에서의 탄화붕소(B₄C) 응용 분야 1. 초정밀 연마 및 광택용 연마 분말 단결정 실리콘 웨이퍼 슬라이싱, 후면 박막화 및 정밀 연마용 래핑 슬러리; 표면 손상 최소화, 높은 재료 제거율, 중금속 오염 없음. SiC/GaN 전력 반도체 기판(IGBT, MOSFET, RF 칩)용 연마재로, 특히 광대역 밴드갭 결정의 평탄화에 이상적입니다. 첨단 DRAM 제조에 사용되는 붕소 도핑 폴리실리콘 하드 마스크용



