사파이어 웨이퍼 LED에 탄화붕소 적용
탄화붕소 연마재는 사파이어 웨이퍼의 양면 연삭 및 사파이어 기반 LED 에피택시 웨이퍼의 백박화 및 연마에서 우수한 성능을 보입니다.
사파이어 크리스탈의 높은 강도와 경도로 인해 가공 기업에 큰 어려움을 가져왔습니다. 재료 및 연삭 학계의 관점에서 사파이어 결정을 가공 및 연삭하는 데 상대적으로 우수한 재료는 합성 다이아몬드, 탄화 붕소 및 탄화 규소입니다. 인조 다이아몬드의 과도한 경도로 인해 사파이어 웨이퍼의 표면은 연삭시 긁힘이 발생하여 웨이퍼의 광 투과율에 영향을 미치고 가격이 비쌉니다. 그러나 탄화규소의 경도가 부족하고 연삭력이 좋지 않아 연삭공정에서 시간과 노동집약적이다. 따라서 탄화붕소 연마제는 사파이어 결정을 가공하고 연마하는 데 이상적인 재료가 됩니다.