중국 Spallation Neutron Source에서 고성능 대면적 탄화붕소 박막 개발 성공

중국 파쇄중성자원에서 고성능 대면적 탄화붕소박막 개발 성공
기자는 10월 16일 중국 파쇄중성자원(CSNS)으로부터 CSNS 검출기가 연구팀은 최근 자체 개발한 대면적 붕소 도금용 마그네트론 스퍼터링 특수 장치를 이용해 중성자 검출기의 요구에 맞는 고성능 대규모 붕소 도금 장치를 준비하는 데 성공했다. 탄화붕소 필름 샘플의 면적은 단일 조각의 면적이 1500mm × 500mm에 도달하고 필름 두께가 1미크론이며 전체 크기 범위의 두께 균일성이 ±1.32%보다 좋습니다. 중성자 탐지에 사용되는 붕소탄화물 필름은 세계에서 가장 넓은 면적입니다.