사파이어 웨이퍼 연삭용 탄화붕소 F230

탄화붕소 연마재는 사파이어의 양면 연삭과 사파이어 기반 LED 에피택시 웨이퍼의 박형화 및 연마에 우수한 성능을 보입니다.

사파이어 크리스탈의 높은 강도와 경도로 인해 가공 기업에 큰 어려움을 가져왔습니다. 재료 및 연삭 학계의 관점에서 사파이어 결정의 가공 및 연삭에 가장 적합한 재료는 합성 다이아몬드, 탄화붕소 및 이산화규소입니다. 인조 다이아몬드의 과도한 경도로 인해 사파이어 웨이퍼의 표면은 연삭시 긁히게되어 웨이퍼의 광 투과율에 영향을 미치고 가격이 비쌉니다. 그러나 실리카의 경도가 불충분하고 연삭력이 좋지 않아 연삭 공정에 시간과 노동력이 많이 소요된다. 따라서 탄화붕소 연마제는 사파이어 결정을 가공하고 연마하는 데 이상적인 재료입니다.

사파이어 웨이퍼 연삭용 탄화 붕소 는 전기로에서 고온 제련 붕소 보조제 및 탄소 재료에 의해 생산됩니다.

사파이어 웨이퍼 연마용 탄화붕소 화학성분(%)
B %		78-81
씨%		17-22
철 ₂ O ₃ %		0.2-0.4
B ₄ C %		95-99
사파이어 웨이퍼 연마용 탄화붕소 물리적 특성
색깔	검은색
분자식	B4C
밀도 및 위상	2.52g/cm3 고체
물에 대한 용해도	불용성
녹는 점	2450°C
비점	3500°C
결정 구조	능면체
모스 경도	9.6
마이크로 경도	4950kgf/mm2

유효한 크기

탄화붕소 사용 가능한 크기
입자 크기의 모래	40#46#54#60#70#80#90#100#120#150#180#220#
거대 가루	-325# -200# -10um -20um
미세 분말	F230F240F280F320F360F400F500F600F800F1000F1200F1500F2500